项目名称：北京怀柔实验室 2023年第一批科研设备采购项目（第二次）
项目编号：1495-234thhrlab01/01
招标范围：产品名称：电子束蒸发台 数量：4台 简要技术规格： 电子束蒸发台是一种半导体芯片加工设备，具体规格如下： 1）电子束蒸发台1台，用于在硅片表面沉积大于等于10微米厚度金属铝； 2）电子束蒸发台1台，用于在硅片表面沉积大于等于10微米厚度金属铝，硅片表面有光刻胶； 3）电子束蒸发台1台，用于在硅片表面沉积金属Ti、Ni厚度50-500纳米，Ag厚度大于等于10微米； 4）电子束蒸发台1台，用于在硅片表面沉积金属Ag厚度大于等于10微米。
招标机构：天恒招标有限公司
招标人：北京怀柔实验室
开标时间：2023-06-06 09:30
公示时间：2023-06-09 16:26 - 2023-06-12 23:59
中标结果公告时间：2023-06-14 15:00
中标人：广微科技有限公司
制造商：爱发科真空技术(苏州)有限公司
制造商国家或地区：中国