项目名称：北京怀柔实验室 2023年第二批科研设备采购项目
项目编号：1495-234thhrlab02/03
招标范围：产品名称：聚焦离子束电子束双束显微镜 数量：1台 简要技术规格：聚焦离子束电子束双束显微镜（FIB-SEM）是一种半导体检测设备，具体规格如下： 1）用于晶圆上各项工艺后的形貌观察及纳米级检测（SEM），电子束束流满足Min.小于等于1pA； 2）用于实现对样品进行离子束切割加工功能（FIB），离子束束流满足Min.小于等于1pA； 3）用于实现三维形貌观察分析； 4）用于实现电路修复； 5）用于实现EDS及EBIC功能； 6）适用于6英寸及以下晶圆。
招标机构：天恒招标有限公司
招标人：北京怀柔实验室
开标时间：2023-06-08 09:30
公示时间：2023-06-12 18:18 - 2023-06-15 23:59
中标结果公告时间：2023-06-16 11:08
中标人：恒裕通有限公司
制造商：Thermo Fisher Scientific Brno s.r.o/Bruker Nano GmbH/point electronic GmbH
制造商国家或地区：捷克