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北京怀柔实验室 2023年第二批科研设备采购项目 - 中标结果公告

分类：中标信息
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来源：
发布时间：2023-06-16 09:45
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项目名称：北京怀柔实验室 2023年第二批科研设备采购项目
项目编号：1495-234thhrlab02/04
招标范围：产品名称：深沟槽喷胶机设备数量：1台简要技术规格：深沟槽喷胶机是一种用于光刻胶喷覆工艺的半导体设备，数量1台，具体要求如下： 1）可实现6英吋硅晶圆喷雾涂胶和旋转涂胶两种功能，其中喷雾涂胶均匀性不超过10%； 2）针对台阶形貌复杂的晶圆，可实现表面、侧壁、沟槽等区域均匀覆盖光刻胶； 3）适用胶的粘性最高可达300cp，涂胶厚度可达20微米。
招标机构：天恒招标有限公司
招标人：北京怀柔实验室
开标时间：2023-06-08 09:30
公示时间：2023-06-12 18:30 - 2023-06-15 23:59
中标结果公告时间：2023-06-16 11:46
中标人：FUTURE SPEEDS TECHNOLOGIES LTD.
制造商：EV Group Europe&Asia/Pacific GmbH
制造商国家或地区：奥地利

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