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北京怀柔实验室 2023年第二批科研设备采购项目 - 中标结果公告

分类：中标信息
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来源：
发布时间：2023-06-16 09:47
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项目名称：北京怀柔实验室 2023年第二批科研设备采购项目
项目编号：1495-234thhrlab02/06
招标范围：产品名称：离子注入机设备数量：2台简要技术规格：离子注入机是一种通过离子束轰击实现对晶片掺杂的半导体工艺设备，具体规格如下： 1）适用于6英寸硅晶圆，厚度500~1800微米，平边17.5±2mm； 2）注入元素含铝Al、硼B、磷P； 3）注入能量10~300keV，能量偏差＜±1keV； 4）注入束流至少覆盖0.5mA~1.8mA范围； 5）注入剂量1E13~1E16cm-2； 6）注入均匀性＜±1%。
招标机构：天恒招标有限公司
招标人：北京怀柔实验室
开标时间：2023-06-08 09:30
公示时间：2023-06-12 18:52 - 2023-06-15 23:59
中标结果公告时间：2023-06-16 11:48
中标人：广微科技有限公司
制造商：ULVAC,INC.
制造商国家或地区：日本

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