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项目名称:北京怀柔实验室 2023年第二批科研设备采购项目 项目编号:1495-234thhrlab02/07 招标范围:产品名称:电容深能级瞬态谱仪设备 数量:1台 简要技术规格:电容深能级瞬态谱仪是一种半导体芯片过程检测设备,具体规格如下: 1)电容深能级瞬态谱仪1台,用于半导体晶圆在工艺过程中缺陷能级检测,杂质灵敏度优于1E9 cm-3; 招标机构:天恒招标有限公司 招标人:北京怀柔实验室 开标时间:2023-06-08 09:30 公示时间:2023-06-12 19:09 - 2023-06-15 23:59 中标结果公告时间:2023-06-16 11:54 中标人:上海埃飞电子科技有限公司 制造商:PhysTech GmbH 制造商国家或地区:德国 |
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