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项目名称:北京怀柔实验室 2023年第二批科研设备采购项目
项目编号:1495-/09
招标范围:产品名称:234thhrlab02单晶硅外延炉 数量:1台 简要技术规格:单晶硅外延炉是一种半导体芯片加工设备,具体规格如下: 1)单晶外延炉1台,晶圆尺寸兼容6英寸,晶圆厚度500微米~1800微米; 2)用于在硅片表面生长p型掺杂单晶硅层,厚度5~100微米; 3)外延层电阻率不均匀性小于等于3%,本征外延层电阻率大于等于800Ω·cm。
招标机构:天恒招标有限公司
招标人:北京怀柔实验室
开标时间:2023-06-08 09:30
公示时间:2023-06-12 19:17 - 2023-06-15 23:59
中标结果公告时间:2023-06-16 11:54
中标人:北京北方华创微电子装备有限公司
制造商:北方华创
制造商国家或地区:中国
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