项目名称：北京怀柔实验室2023年第三批科研设备采购项目
项目编号：1495-234thhrlab03
招标范围：产品名称：化学机械抛光机设备 数量：1台 简要技术规格：化学机械抛光机是一种通过机械研磨和化学腐蚀使晶片变平并去除表面损伤层的半导体工艺设备，具体规格如下： 1)适用于6英寸硅晶圆； 2)抛光厚度1微米~10微米； 3)厚度控制精度小于等于1微米； 4)粗糙度Ra小于0.5nm； 5)片内总厚度差小于等于2微米。
招标机构：天恒招标有限公司
招标人：北京怀柔实验室
开标时间：2023-07-20 09:30
公示时间：2023-07-24 16:30 - 2023-07-27 23:59
中标结果公告时间：2023-07-28 16:04
中标人：明德贸易株式会社
制造商：不二越工业株式会社
制造商国家或地区：日本